Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique

Mireille Mouis

Parution le 16/12/2005

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Résumé

Le traité Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes répond au besoin de disposer d'un ensemble de connaissances, méthodes et outils nécessaires à la maîtrise de la conception, de la fabrication et de l'utilisation des composants, circuits et systèmes utilisant l'électricité, l'optique et l'électronique comme support. Conçu et organisé dans un souci de relier étroitement les fondements physiques et les méthodes théoriques au caractère industriel des disciplines traitées, ce traité constitue un état de l'art structuré autour des quatre grands domaines suivants ; Electronique et micro-électronique, Optoélectronique, Génie électrique, Microsystèmes. Chaque ouvrage développe aussi bien les aspects fondamentaux qu'expérimentaux du domaine qu'il étudie. Une classification des différents chapitres contenus dans chacun, une bibliographie et un index détaillé orientent le lecteur vers ses points d'intérêt immédiats : celui-ci dispose ainsi d'un guide pour ses réflexions ou pour ses choix. Les savoirs, théories et méthodes rassemblés dans chaque ouvrage ont été choisis pour leur pertinence dans l'avancée des connaissances ou pour la qualité des résultats obtenus.

Sommaire

L'importance des contraintes en microélectronique
Théorie de l'élasticité des cristaux
Introduction à la thermodynamique des systèmes contraints
Description élastique d'une surface et ses défauts
Rôle des contraintes mécaniques dans les technologies silicium
Croissance cristallinique et génération de contraintes
Relaxation élastique des contraintes
Relaxation plastique des couches métalliques par dislocations et diffusion de matière
Phénomènes d'endommagement des films minces : des structures de cloquage aux propriétés mécaniques locales
Exploitation des contraintes dans les structures à base semi-conducteurs
Apports et limites d'une approche atomistique de la croissance hétéro-épitaxique
Utilisation des éléments fins pour l'analyse des contraintes
Analyse des contraintes et déformations de films minces par diffractions des rayons x et mesure de courbure
Influence des contraintes sur les propriétés électroniques et optiques des semi-conducteurs

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Caractéristiques techniques

	PAPIER	NUMERIQUE
Éditeur(s)	Hermès - Lavoisier
Auteur(s)	Mireille Mouis
Parution	16/12/2005	01/06/2008
Nb. de pages	-	0
Format	16 x 24	-
Couverture	Broché	-
Poids	920g	-
Contenu	-	PDF
EAN13	9782746213081	9782746237414