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Microphone électrodynamique mems en technologie cmos
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Librairie Eyrolles - Paris 5e
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Microphone électrodynamique mems en technologie cmos

Microphone électrodynamique mems en technologie cmos

Tounsi-F - Collection Omn.univ.europ.

172 pages, parution le 08/07/2011

Résumé

Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.

Caractéristiques techniques

  PAPIER
Éditeur(s) Editions universitaires européennes
Auteur(s) Tounsi-F
Collection Omn.univ.europ.
Parution 08/07/2011
Nb. de pages 172
Format 15.2 x 22.9
Couverture Broché
Poids 262g
EAN13 9786131584930

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