Résumé
Ce travail met en évidence l'importance du silicium poreux en présence de tétrachlorure de silicium dans le gettering et le blocage des impuretés lors de la croissance et l'obtention de couches minces de très grande qualité. La première partie est consacrée à une généralité sur les propriétés des couches minces de Si. Dans la deuxième partie nous présentons les propriétés du silicium poreux (SP) et son effet de gettering. L'effet de gettering par SP en présence du SiCl4 a été évalué par l'augmentation prononcée de la mobilité des porteurs majoritaire et la longueur de diffusion des porteurs minoritaires. Dans la troisième partie est présenté le montage utilisé, ainsi que les conditions d'élaboration des couches de silicium. La dernière partie donne les résultats des caractérisations structurales et électriques des couches minces élaborées sur des substrats de SP. Les résultats montrent que la mobilité des porteurs varie de 107 à 186 cm²V-1s-1 et est plus élevée que celles obtenues par LPCVD et RT-LPCVD.
Caractéristiques techniques
| PAPIER | |
| Éditeur(s) | Editions universitaires européennes |
| Auteur(s) | Collectif |
| Collection | Omn.univ.europ. |
| Parution | 25/05/2011 |
| Nb. de pages | 156 |
| Format | 15.2 x 22.9 |
| Couverture | Broché |
| Poids | 239g |
| EAN13 | 9786131576058 |
Avantages Eyrolles.com
Livraison à partir de 0,01 € en France métropolitaine
Paiement en ligne SÉCURISÉ
Livraison dans le monde
Retour sous 15 jours
+ d'un million et demi de livres disponibles
Consultez aussi
- Les meilleures ventes en Graphisme & Photo
- Les meilleures ventes en Informatique
- Les meilleures ventes en Construction
- Les meilleures ventes en Entreprise & Droit
- Les meilleures ventes en Sciences
- Les meilleures ventes en Littérature
- Les meilleures ventes en Arts & Loisirs
- Les meilleures ventes en Vie pratique
- Les meilleures ventes en Voyage et Tourisme
- Les meilleures ventes en BD et Jeunesse
