Tous nos rayons

Déjà client ? Identifiez-vous

Mot de passe oublié ?

Nouveau client ?

CRÉER VOTRE COMPTE
Étude de la croissance dendritique du cuivre dans l'acide oxalique
Ajouter à une liste

Librairie Eyrolles - Paris 5e
Indisponible

Étude de la croissance dendritique du cuivre dans l'acide oxalique

Étude de la croissance dendritique du cuivre dans l'acide oxalique

Application au procédé de nettoyage post-cmp en microélectronique

Elodie Ostermann - Collection Omn.univ.europ.

260 pages, parution le 05/10/2011

Résumé

Si rien ne se perd, rien ne se crée, la matière, en tout cas, ne cesse de se transformer : elle change de forme, de couleur, d'état et de nature en se combinant, en se dissociant et en interagissant. La corrosion électrochimique est une des voies dont dispose la matière pour se transformer et peut être rencontrée dans des domaines très différents, tels que dans l'industrie microélectronique lors de certains traitements de surface. Le cuivre est utilisé pour réaliser les interconnexions des microcircuits. L'intégration de ce métal nécessite un polissage, un nettoyage à l'acide et un rinçage, appelé "post-CMP cleaning", afin d'éliminer les particules abrasives, les résidus du polissage et la contamination. Cette dernière étape est parmi les plus critiques et des phénomènes de croissance dendritique peuvent se produire sur des sites privilégiés. Le but de ce travail est d'avoir une meilleure compréhension des processus électrochimiques impliqués pendant le nettoyage qui suit le polissage mécano-chimique du cuivre.

Caractéristiques techniques

  PAPIER
Éditeur(s) Editions universitaires européennes
Auteur(s) Elodie Ostermann
Collection Omn.univ.europ.
Parution 05/10/2011
Nb. de pages 260
Format 15 x 22
Couverture Broché
Poids 387g
EAN13 9786131597060

Avantages Eyrolles.com

Livraison à partir de 0,01 en France métropolitaine
Paiement en ligne SÉCURISÉ
Livraison dans le monde
Retour sous 15 jours
+ d'un million et demi de livres disponibles
satisfait ou remboursé
Satisfait ou remboursé
Paiement sécurisé
modes de paiement
Paiement à l'expédition
partout dans le monde
Livraison partout dans le monde
Service clients sav@commande.eyrolles.com
librairie française
Librairie française depuis 1925
Recevez nos newsletters
Vous serez régulièrement informé(e) de toutes nos actualités.
Inscription