Etude d'un modulateur électro-optique en sige/si

Cordat-A - Collection Omn.univ.europ.

220 pages, parution le 14/02/2011

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QUANTITÉ

Résumé

Les travaux présentés participent au développement de composants optoélectroniques dans la lière silicium s''appuyant sur les procédés microélectroniques. Ils présentent l''étude d''un modulateur de lumière à la longueur d''onde de 1,3 microns, basé sur une structure de multipuits SiGe/Si à dopage modulé sur substrat silicium sur isolant. La structure est placée dans la région intrinsèque d''une jonction pin a n de contrôler la densité de trous dans les puits SiGe par l''application d''une tension inverse. La modulation optique est obtenue par la variation d''indice de réfraction des couches SiGe suivant la concentration de trous. L''écriture d''un outil de simulation exploité en plans d''expériences a permis de déterminer les in uences respectives des paramètres de la structure sur l''ef cacité du dispositif. Les étapes technologiques ont été validées sur des composants de test. Les mesures capacité-tension ont permis de remonter aux profils de trous dans la structure en cohérence avec la simulation numérique. La modulation optique a été mise en évidence par la mesure de la variation du coefficient de transmission du multicouche par l''application d''une tension.

Caractéristiques techniques

	PAPIER
Éditeur(s)	Editions universitaires européennes
Auteur(s)	Cordat-A
Collection	Omn.univ.europ.
Parution	14/02/2011
Nb. de pages	220
Format	15.2 x 22.9
Couverture	Broché
Poids	330g
EAN13	9786131540257