Introduction to microelectromechanical (MEM) microwave systems
Hector J. De Los Santos - Collection Microwave technology series
Résumé
Summary of contents
- Microelectromechanical systems - MEMS origins
- MEMS impetus/motivation
- MEMS fabrication technologies
- fundamental MEMS device physics - actuation
- fundamental MEMS devices - the cantilever beam
- microwave MEMS applications - MEM switch design considerations
- the micromachined transmission line
- MEMS-based microwave circuits and systems
Caractéristiques techniques
PAPIER | |
Éditeur(s) | Artech House |
Auteur(s) | Hector J. De Los Santos |
Collection | Microwave technology series |
Parution | 30/04/1999 |
Nb. de pages | 248 |
Format | 15 x 23 |
EAN13 | 9780890062821 |
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